摘要：半导体行业使用的化学品种类较多，大多属于有毒有害、易燃易爆的化学品，因此对化学品的安全管理要求也比较高。文章首先对半导体行业中化学品存在的安全隐患进行分析，提出了从化学品的采购、运输、储存、使用、废弃处置、应急处置等全周期过程来进行管理的相应对策，通过全周期的过程管理以降低安全事故的发生。

　　关键词：过程管理；全周期；化学品；半导体行业

　　引言

　　半导体是一种在常温状态下导电能力优于绝缘体但不如导体的物质，因其特殊的性能，可制造出不同用途的半导体器件，也是集成电路元器件加工所必需的原料。对于发展半导体行业来说，促进芯片的研发及应用，必将是影响国计民生的重大举措。

　　随着半导体产品的日渐增多，安全生产问题也随之而来。在重视经济效益的同时，也须重视安全生产。为了更好地规范及提升半导体行业安全管理水平，需要更加了解半导体行业的特征及半导体行业所存在的一些危险源。在半导体产品加工制造过程中，存在一些风险，如：设备气体泄漏风险、化学品泄漏风险、锅炉爆炸风险、容器爆炸、起重伤害、中毒窒息等等。特别是对化学品泄漏对人体带来的危害是比较大。因此，本文主要从半导体行业所存在的化学品安全隐患现状进行分析，从化学品的采购、运输、储存、使用、废弃处置、应急处置等全周期进行安全管理，以降低安全事故的发生。

　　1半导体企业工艺特性及存在的安全隐患

　　1.1半导体企业生产工艺特性

　　半导体工艺主要分为两个大部分，分别为前端工艺与后端工艺。前端工艺主要是通过清洗、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入等形成复杂的多层器件结构。后端工艺主要是通过以金属做连线，完成各个器件之间的连接，也是通过清洗、光刻、刻蚀等工艺将各层器件互联成为一个整体。所以半导体工艺中不可避免地需要使用大量的各类化学药剂及特种气体。

　　1.2半导体行业存在的化学品安全隐患

　　(1)安全生产设备配备不足

　　在半导体行业长期发展过程中，一些企业只注重经济效益，对安全设备的配备和投入不足，只为了保障基本安全，未引进先进的安全设备，缺乏必要的安全防护，对设备的维护保养等不到位，增加了化学品的风险性。

　　(2)化学品管理制度不健全

　　有些半导体生产企业的化学品安全管理体制多存留在形式上，管理制度也不健全，未能根据现场实际情况进行细化，且管理制度无可操作性。在数字化信息时代，未能与时俱进，没有使用先进的系统进行管理。因此，对企业的安全管理工作没有起到实质性的作用。企业安全生产对企业的经济效益十分重要。

　　(3)化学品采购环节把关不严格

　　半导体生产过程中使用的化学品居多，采购物料也来自不同的供应商，供应商的资质良莠不齐，化学品如果在采购环节把关不严的话，那么购买的化学品质量有可能就无法得到保障。

　　(4)化学品存储不规范

　　化学品存储区域未按照性质进行区分，有的化学品仓库严重超量，部分工作人员也缺乏相关的安全生产教育培训，工作中也未能按照《危险化学品安全管理条例》等相关法律法规规定进行排查、处置存储场所各类风险隐患。部分企业还存在违规储存化学品货物，且有的存放腐蚀性化学品的仓库，地面未进行防腐蚀、防渗漏的处理，也未设置洗眼喷淋装置；存放可燃气体的区域未设置气体探测报警装置等等。

　　(5)化学品信息化管理水平落后

　　有些企业化学品事故的原因归结于人员意识薄弱，且部分企业为了追求生产速度与经济效益，没能与时俱进，还存在用原始的手工录入管理，工作耗时费力，且非常繁琐。企业没有引入先进的化学品安全评估数据平台，未能及时掌握购进的化学品是否满足法规要求等等，不仅影响了管理效率，还容易出现差错。

　　综上所述，对化学品安全隐患主要集中在设备的投入、安全生产责任落实不到位、风险隐患排查不足、存储及处置不符合法规、人员意识薄弱、数据信息化程度弱等情况。

　　2化学品全周期安全管理措施

　　对半导体行业化学品安全管理的现状分析，就安全管理存在的问题，提出了对化学品采购、运输、装卸、储存、使用到废弃以及应急情况下所有环节的安全管理对策，从而找出减少或消除风险的措施和办法，提供比较全面的安全管理方法。

　　2.1化学品采购、运输、装卸的安全管理措施

　　企业在化学品采购过程中，应提前向要求生产商提供MSDS及化学品标签等，企业根据MSDS对化学品物质进行事先评价，评价内容主要包括对大气环境、废水排放、固体废弃物、消防安全、现场配置的劳动防护用品等基础设施是否能够满足要求。

　　采购化学品前需要查验生产商的危险/易制毒化学品安全生产许可证或者要求经销商提供危险化学品经营许可证、易制毒化学品经营备案等资料，以加强对供应链的管理，确保从供应商到终端用户的整个过程中化学品的安全性。通过建立供应商评估和审查机制，确保供应商符合安全要求，并且从可靠的渠道获取化学品。

　　化学品运输过程中应该提供相应运输商、运输车辆及相关人员资格证书，以确保合规合法。

　　化学品搬运装卸过程中，搬运人员必须取得危险化学品操作证，方可进行操作，且在搬运前务必检查容器密封性是否完好等。搬运过程中佩戴个人防护装备，搬运过程中所在区域的雨水排放口适当封盖，防止意外泄漏时流入排水系统或地下。

　　2.2化学品储存的安全技术及管理措施

　　化学品存储场所必须在专用仓库、专用场地或储存柜内，并由专人管理，分类专项存放。堆垛之间的主要通道保持距离，不得超量存放。易燃性化学品应严格按照《易燃易爆性商品储藏养护技术条件》进行温度管控。且存储场所的平面布局、安全疏散、防火间距、耐火等级必须满足法规标准要求，同时按照化学品的性质对其进行防腐蚀、防泄漏、防爆炸等处理。严格控制其现场存量，并设置明显的安全警示标志，周边不能放置杂物，严禁禁忌物品混合存放。同时按照规范要求进行设置排风系统，仓库设置静电装置，以确保发生静电导致出现火灾事故。

　　2.3化学品使用过程中的安全管理措施

　　半导体制造过程中会使用到光刻胶、酸碱腐蚀液以及异丙醇、环己酮易燃化学药剂等等，这些化学品在加工过程中会带来安全隐患，不仅需要采用自动化设备降低人为操作的风险，更需要在设备中安装气体或者液体探测器。定期对探测器进行校准及检查，确保探测器合格有效，以便发生化学品泄漏时，可及时检测出报警，及时响应，将事故遏制在萌芽中。

　　2.4化学品废弃处置的安全管理措施

　　企业如出现化学品废弃处置时，应在化学品安全管理系统上提交废弃处置单，根据《危险化学品安全管理条例》《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》《环境保护图形标志固体废物贮存(处置)场》《危险废物贮存污染控制标准》等标准进行制定化学品废弃处置管理规定，根据不同属性的废弃物提出污染防治、分类贮存管理、标识、管理台账和申报等制度要求，合理规范化地对企业的化学品废弃物进行处理。按照要求选择有资质的单位进行处理，企业做好相应的危险废物管理制度、转移联单制度、做好台账管理等。

　　2.5化学品泄漏应急处理措施

　　发生化学品事故后如处置妥当，可有效减少事故所带来的损失及伤害。为此提升应急管理能力也是一项重要的内容：

　　(1)企业应该编制应急预案，重视应急资源的调查，风险识别及评估。

　　(2)定期进行风险隐患排查项目，建立风险隐患清单，确保风险控制点，加强对隐患的检查。

　　(3)注重预警管理机制的完善，在一些重要的、高风险的场所设置在线视频监控，确保异常情况可及时采取有效的措施。

　　(4)组织应急队伍的建设以及配备齐全的应急救援装备，定期进行组织应急演练。并根据不同的事故情况，制定有针对性的应急演练，不断完善企业的应急响应流程及应急预案体系以及应急处置措施。

　　(5)定期进行应急培训，完善培训记录和评估，对培训过程和问题进行深入的探讨分析，客观地评价培训效果。

　　2.6人员及设备安全管理及信息化平台的搭建

　　人员安全是企业最基本的保障，因此人员的安全意识就必须提高，安全管理人员需要从以下方面来慢慢地提升从业人员的安全意识，以提高安全管控的整体质量：

　　(1)加强对化学品从业人员进行专项培训教育，以提升人员素质；

　　(2)定期对从业人员抽查，是否完全掌握MSDS的相关知识，对化学品储存使用条件是否了解，以及如发生事故时如何有效处置；

　　(3)培训过程中增加考核制度，或者在隐患排查中增加奖励制度，以及制定及开展化学品风险能力的提升课题、设备安全改进课题等等。

　　企业可搭建一套化学品全流程的动态监管系统，从化学品采购、储存、使用、运输、废弃等全过程进行监控。通过大数据和云计算等信息技术建立风险管控系统，强化风险的分级管控和动态监测预警，科学预防、过程管控以及综合治理。同时，要不断完善应急管理信息化的体系建设，企业可通过数据化平台及现场安全管理逐步完善化学品安全管理的内容，对企业的发展起到安全有效的保障。

　　3结语

　　半导体企业中化学品安全管理是非常重要的一项工作，各方面都有着不可忽视的安全风险，因此必须从化学品的采购、运输、储存、使用、废弃处置、应急处置等全周期过程进行安全管理。通过对全周期过程管理的持续改进和优化，减少化学品处理过程中所存在的风险，以及优化化学品存储以及处理设施的布局，减少可能产生的交叉污染和事故风险。这不仅可以为企业化学品安全管理提供有价值的参考，也为企业的安全生产提供安全保障。

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